
von Thomas M. Adams · tapa blanda · ISBN 9781489984210

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«Introductory MEMS: Fabrication and Applications» ist das technische Handbuch von Thomas M. Adams und Richard A. Layton (Springer, Taschenbuch, 460 Seiten, Englisch).
Einführung in mikroelektromechanische Systeme (MEMS): erklärt die gängigsten Fertigungstechniken und die resultierenden Bauelemente. Behandelt MEMS-Wandler, ihre Modellierung, kommerzialisierte Bauelemente und Mikrofluidik und enthält Laborübungen und Wiederholungsmaterial mit Anwendungen in Technik, Medizin und Elektronik.
Werk ursprünglich 2010 veröffentlicht; diese Taschenbuchausgabe stammt vom September 2014.
Für fortgeschrittene Bachelor- und Masterstudierende sowie Fachleute aus Technik und Elektronik, die eine praktische Grundlage in MEMS-Technologie benötigen.
